基本信息:
- 专利标题： 가스 스트림을 처리하기 위한 장치
- 专利标题（英）：Apparatus for treating a gas stream
- 专利标题（中）：用于处理气流的装置
- 申请号：KR1020147006775 申请日：2012-07-11
- 公开(公告)号：KR1020140064868A 公开(公告)日：2014-05-28
- 发明人： 보로닌세르게이알렉산드로비치 , 아트우드마크제임스
- 申请人： 에드워즈 리미티드
- 申请人地址： Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH** *TW, United Kingdom
- 专利权人： 에드워즈 리미티드
- 当前专利权人： 에드워즈 리미티드
- 当前专利权人地址： Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH** *TW, United Kingdom
- 代理人： 제일특허법인
- 优先权： GB11141736 2011-08-17
- 国际申请： PCT/GB2012/051631 2012-07-11
- 国际公布： WO2013024248 2013-02-21
- 主分类号： B01D53/32
- IPC分类号： B01D53/32 ; H05H1/26 ; H01L21/02
摘要：
저감 장치(10)에서 DC 플라즈마 토치의 작동 가능한 범위를 증가시키기 위해서, 장치는 플라즈마 공급원 가스 흐름 조절기(24)의 선택적인 제어에 의해 플라즈마 토치의 전력을 제어하도록 구성된 전력 제어부를 포함한다.
摘要（英）：
In order to increase the operational range of the DC plasma torch in a reduction apparatus 10, the apparatus includes a power control unit configured to control the power of the plasma torch by selective control of the plasma source gas flow regulator 24.
公开/授权文献:
- KR101976226B1 가스 스트림을 처리하기 위한 장치 公开/授权日：2019-05-07