基本信息:
- 专利标题： 플라즈마 침적 모드 이온주입에 있어서의 주입량 측정 장치
- 专利标题（英）：Dose measurement device for plasma-immersion ion implantation
- 专利标题（中）：用于等离子体离子植入的剂量测量装置
- 申请号：KR1020137000187 申请日：2011-06-01
- 公开(公告)号：KR1020130118854A 公开(公告)日：2013-10-30
- 发明人： 또레그로자,프랑 , 후,로랑
- 申请人： 이옹 빔 세르비스
- 申请人地址： ZI Peynier-Rousset, Rue Gaston Imbert prolongee, F-***** Peynier, France
- 专利权人： 이옹 빔 세르비스
- 当前专利权人： 이옹 빔 세르비스
- 当前专利权人地址： ZI Peynier-Rousset, Rue Gaston Imbert prolongee, F-***** Peynier, France
- 代理人： 특허법인오리진
- 优先权： FR1002353 2010-06-03
- 国际申请： PCT/FR2011/000323 2011-06-01
- 国际公布： WO2011151540 2011-12-08
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; H01J37/32
- 반발되어야 할 소정 극성의 전하를 반발하기 위한 전극으로서, 전자가 통과하는 적어도 하나의 오리피스가 형성되어 있는 제1 반발전극 G1, A1, T1;
- 반발되어야 할 반대 극성의 전하를 반발하기 위한 전극으로서, 전자가 통과하는 적어도 하나의 오리피스가 형성되어 있는 제2 반발전극 G2, A2, T2;
- 전자가 통과하는 적어도 하나의 오리피스가 형성되어 있는 선택 전극 G3, A3, T3;을 갖는 수집기 COL, P를 포함한다.
The present invention relates to a dose measuring device for the ion implantation, the apparatus comprising an injection current estimation module CUR, secondary electron detector DSE, and taking a difference between the injection current and the secondary current from the detector to estimate the ion current a control circuit CC. In addition, the high-energy secondary electron detector, the three mutually insulated electrodes, that is,
- as an electrode for resisting a charge of predetermined polarity to be resilient, the first resilient electrode with at least one orifice for the electrons pass are formed G1, A1, T1;
- as an electrode for resisting a charge of opposite polarity to be resilient, and the second resilient electrode with at least one orifice for the electrons it pass is formed G2, A2, T2;
- at least one selective electrode G3, A3, which orifice is formed T3 which electrons pass; and a collector COL, P having a.
公开/授权文献:
- KR101799891B1 플라즈마 침적 모드 이온주입에 있어서의 주입량 측정 장치 公开/授权日：2017-11-22
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/244 | ..检测器；所采用的组件或电路 |