基本信息:
- 专利标题： 검사 장치 및 검사 방법
- 专利标题（英）：Inspection device and inspection method
- 专利标题（中）：检查装置和检查方法
- 申请号：KR1020100100383 申请日：2010-10-14
- 公开(公告)号：KR1020110109783A 公开(公告)日：2011-10-06
- 发明人： 시오자키가즈히코 , 곤도도시유키
- 申请人： 히오끼 덴끼 가부시끼가이샤
- 申请人地址： **, Koizumi, Ueda-shi, Nagano, Japan
- 专利权人： 히오끼 덴끼 가부시끼가이샤
- 当前专利权人： 히오끼 덴끼 가부시끼가이샤
- 当前专利权人地址： **, Koizumi, Ueda-shi, Nagano, Japan
- 代理人： 한양특허법인
- 优先权： JPJP-P-2010-083261 2010-03-31
- 主分类号： G01R31/306
- IPC分类号： G01R31/306 ; G01R1/06 ; G01R1/04
프로빙의 정밀도를 향상한다.
(해결수단)
프로빙 기구와, 제어부와, 이론상의 프로빙 위치와 실제의 프로빙 위치의 사이의 이간 거리에 의거해 프로빙 처리에 있어서 지정하는 프로브(21)의 이동량을 보정하기 위한 보정치를 산출하는 연산부를 구비하고, 제어부는, 접리 방향을 따른 이동량이 서로 다른 제1의 이동량 및 제2의 이동량을 지정해 프로빙 기구에 대해 제1 프로빙 처리 및 제2 프로빙 처리를 실행시키고, 연산부는, 제1 프로빙 처리 및 제2 프로빙 처리에 있어서의 평면 방향을 따른 이간 거리의 차분치(Gxt)와, 양 프로빙 처리의 각각에 있어서의 표면에 대해 수직인 방향을 따른 프로브(21)의 이동량의 차분치(차분치 Tg1)에 의거해 테스트 기판(100)의 표면에 대한 접리 방향의 경사 각도(θx)를 특정함과 더불어, 경사 각도에 의거해 보정치를 보완한다.
(assignment)
To improve the accuracy of the probe.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS
Probing mechanism and a control unit and provided with a computing unit for calculating a correction value for correcting the amount of movement of the specified probe 21, which in the probing process on the basis of the clearance of the theoretical probing position and between the actual probe position, and the control is the amount of movement along the jeopri direction running each other first probing given an amount of movement of the other first movement amount and the second for the probing mechanism handle and the second probing process and, the operation section has a first probing process and the second probing process with the planar direction away difference value (Gxt) of the distance along the in the, differential value between the amount of movement of the two probing the probe 21 according to a direction perpendicular to the surface in each of the processing (difference value Tg1) on the basis of the inclination angle of the test substrate jeopri direction (θx) about a surface of (100) with a certain box, to complement the correction value on the basis of the inclination angle.
公开/授权文献:
- KR101095781B1 검사 장치 및 검사 방법 公开/授权日：2011-12-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R31/00 | 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置 |
| --------G01R31/02 | .对电设备、线路或元件进行短路、断路、泄漏或不正确连接的测试 |
| ----------G01R31/302 | ..无触点测试 |
| ------------G01R31/305 | ...采用电子束 |
| --------------G01R31/306 | ....印刷或混合电路的 |