基本信息:
- 专利标题: 강유전체 박막 형성용 조성물, 강유전체 박막의 형성 방법 그리고 그 방법에 의해 형성된 강유전체 박막
- 专利标题(英):Composition for ferroelectric thin film formation, method for ferroelectric thin film formation, and ferroelectric thin film formed by the method
- 专利标题(中):一种用于形成铁电薄膜的组合物,一种形成铁电薄膜的方法以及由该方法形成的铁电薄膜
- 申请号:KR1020107026443 申请日:2009-05-28
- 公开(公告)号:KR1020110014159A 公开(公告)日:2011-02-10
- 发明人: 후지이준 , 사쿠라이히데아키 , 노구치다카시 , 소야마노부유키
- 申请人: 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
- 申请人地址: *-*, Otemachi *-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人: 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
- 当前专利权人: 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址: *-*, Otemachi *-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan
- 代理人: 특허법인코리아나
- 优先权: JPJP-P-2008-139623 2008-05-28; JPJP-P-2008-139641 2008-05-28; JPJP-P-2008-282849 2008-11-04; JPJP-P-2008-328101 2008-12-24; JPJP-P-2009-009818 2009-01-20; JPJP-P-2009-009819 2009-01-20; JPJP-P-2009-022638 2009-02-03; JPJP-P-2009-022641 2009-02-03; JPJP-P-2009-023278 2009-02-04; JPJP-P-2009-023280 2009-02-04; JPJP-P-2009-025681 2009-02-06; JPJP-P-2009-025683 2009-02-06; JPJP-P-2009-059019 2009-03-12; JPJP-P-2009-060348 2009-03-13; JPJP-P-2009-085819 2009-03-31; JPJP-P-2009-085830 2009-03-31; JPJP-P-2009-102815 2009-04-21; JPJP-P-2009-102817 2009-04-21; JPJP-P-2009-105076 2009-04-23; JPJP-P-2009-105883 2009-04-24; JPJP-P-2009-105885 2009-04-24
- 国际申请: PCT/JP2009/059804 2009-05-28
- 国际公布: WO2009145272 2009-12-03
- 主分类号: C04B35/49
- IPC分类号: C04B35/49 ; C01G25/00 ; C04B35/46 ; H01L21/8242
x La
y )(Zr
z Ti
(1-z) )O
3 (식 (1) 중 0.9 < x < 1.3, 0 y < 0.1, 0 z < 0.9) 로 나타내는 복합 금속 산화물 A 에, P (인) 를 함유하는 복합 산화물 B 가 혼합된 혼합 복합 금속 산화물의 형태를 취하는 박막을 형성하기 위한 액상 조성물이며, 복합 금속 산화물 A 를 구성하기 위한 원료 그리고 복합 산화물 B 를 구성하기 위한 원료가 일반식 (1) 로 나타내는 금속 원자비를 부여하는 비율로 유기 용매 중에 용해되어 있는 유기 금속 화합물 용액으로 이루어진다.
PLZT, PZT, and PT in the group consisting of from one kind selected in the ferroelectric thin film formation to for ferroelectric thin film formation composition for the general formula
(1): (Pb x La y) (Zr z Ti (1-z)) O 3 (formula (1) of 0.9 <x <1.3, 0 y <0.1, 0 z <0.9), the composite metal oxide A represented by a liquid composition for forming a thin film composite oxide B containing a P (phosphorus) is takes the form of a mixed mixed composite metal oxide, for forming the composite metal oxide A raw material and made of an organic metal compound solution is the raw material which is dissolved in an organic solvent in a ratio to give the metal atom ratio represented by the general formula (1) for constituting the composite oxide B.
公开/授权文献:
- KR101565186B1 강유전체 박막 형성용 조성물, 강유전체 박막의 형성 방법 그리고 그 방법에 의해 형성된 강유전체 박막 公开/授权日:2015-11-02