基本信息:
- 专利标题： 박막 태양 전지 제조 장치
- 专利标题（英）：Apparatus for manufacturing thin film solar cell
- 专利标题（中）：薄膜太阳能电池制造设备
- 申请号：KR1020107023584 申请日：2009-06-04
- 公开(公告)号：KR1020100126825A 公开(公告)日：2010-12-02
- 发明人： 시미즈야스오 , 오가타히데유키 , 마츠모토고이치 , 노구치다카후미 , 와카모리죠지 , 오카야마사토히로 , 모리오카야와라 , 스기야마노리야스 , 시게타다카시 , 구리하라히로유키
- 申请人： 가부시키가이샤 아루박
- 申请人地址： 일본 가나가와껭 찌가사끼시 하기소노 ****반찌
- 专利权人： 가부시키가이샤 아루박
- 当前专利权人： 가부시키가이샤 아루박
- 当前专利权人地址： 일본 가나가와껭 찌가사끼시 하기소노 ****반찌
- 代理人： 리앤목특허법인
- 优先权： JPJP-P-2008-149934 2008-06-06
- 国际申请： PCT/JP2009/060247 2009-06-04
- 国际公布： WO2009148117 2009-12-10
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/0445 ; H01L21/205
摘要：
본 발명의 박막 태양 전지 제조 장치는, 기판의 성막면과 중력 방향이 대략 평행이 되도록 상기 기판이 배치되고, 상기 성막면에 CVD법에 의해 막을 형성하는 성막실; 전압이 인가되는 캐소드가 양측에 배치된 캐소드 유닛과, 상기 각 캐소드 각각에 마주하면서 이격거리를 두고 배치된 한 쌍의 애노드를 가지는 전극 유닛; 상기 기판을 지지하고, 상기 캐소드와 이에 마주하는 상기 애노드의 사이에 상기 기판을 반송하는 반송부;를 가지고, 상기 이격거리가 가변한다.
摘要（中）：
本发明中，膜形成表面和所述衬底和所述衬底的重力方向的薄膜太阳能电池制造装置被布置为大致平行，沉积室以通过在膜形成表面的CVD法形成膜; 一种电极单元，其具有被施加电压的电压的阴极被布置在两侧上，以及一对阳极，其面向每个阴极并且彼此间隔开; 以及用于支撑衬底并在阴极和面对阴极的阳极之间传输衬底的载体，该距离是可变的。
摘要（英）：
Thin-film solar cell manufacturing apparatus of the present invention, the film forming surface of the substrate and the direction of gravity is arranged so that the substrate is substantially parallel to, the deposition chamber to form a film by the CVD method in the film forming surface; The cathode unit electrode is the voltage applied to the anode having a pair of spaced a distance while facing the cathode unit and the cathode, respectively, each arranged on both sides arranged; Supporting the substrate, and a transport section for transporting the substrate between the anode and the cathode facing thereto; have, the variable is the distance.
公开/授权文献:
- KR101195088B1 박막 태양 전지 제조 장치 公开/授权日：2012-10-29