基本信息:
- 专利标题： 마이크로기계식 공진기
- 专利标题（英）：A micromechanical resonator
- 专利标题（中）：微机电谐振器
- 申请号：KR1020107018410 申请日：2009-01-23
- 公开(公告)号：KR1020100111724A 公开(公告)日：2010-10-15
- 发明人： 카자카리빌
- 申请人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
- 申请人地址： Myllynkivenkuja * FI-***** Vantaa, FINLAND
- 专利权人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
- 当前专利权人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
- 当前专利权人地址： Myllynkivenkuja * FI-***** Vantaa, FINLAND
- 代理人： 장훈
- 优先权： US61/023,414 2008-01-24
- 国际申请： PCT/FI2009/000020 2009-01-23
- 国际公布： WO2009092846 2009-07-30
- 主分类号： H03H9/02
- IPC分类号： H03H9/02 ; B81B3/00 ; H03H9/24
摘要：
본 발명은 마이크로기계식 공진기의 설계에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 마이크로전자기계 시스템(MEMS) 공진기의 설계에 관한 것이다. 본 발명은 스프링 요소들(3), (23-24), (27-30)의 폭은 상기 전극 핑거들(5-9), (25-26), (31-34)의 폭보다 크고, 상기 폭들은 구체적으로 제작상 치수 변동에 대한 공진 주파수 변화의 감도가 제로에 근접하도록 치수화되는 마이크로전자기계(MEMS) 공진기에 대한 개선된 설계 구조를 제공한다. 개선된 구조는 제작상 변동에 대해 주파수 내성이 있으며 특히 소형 솔루션에서 양호한 성능과 함께 확실한 주파수 참조를 가능하게 한다.
摘要（中）：
本发明涉及微机械谐振器的设计，更确切地说，涉及微机电系统（MEMS）谐振器的设计。 本发明提供了一种用于微机电系统（MEMS）谐振器的改进的设计结构，其中弹簧元件（3），（23-24），（27-30）的宽度大于电极指（5- （25-26），（31-34），所述宽度具体尺寸设定成使谐振频率相对于尺寸制造变化d（＆Dgr;ω0/ω0）/dδ变化的灵敏度接近零。 改进的结构对于制造变化是稳定的，并且具有良好性能的可靠的频率参考，特别是在小尺寸解决方案中。
摘要（英）：
The invention relates to the design of the micromechanical resonator, and more particularly to the design of the micro-electromechanical system (MEMS) resonator. The invention of the spring element (3), (23-24), the width of the (27-30) is greater than a width of the electrode fingers (5-9), (25-26), (31-34), the width should provide an improved design for a micro-electromechanical structure (MEMS) resonator is dimensioned that the sensitivity of the resonant frequency changes to the specifically making the dimensional change close to zero. The improved structure is the frequency tolerance for the production phase variation makes it particularly possible to secure a frequency reference with a good performance in a compact solution.
公开/授权文献:
- KR101694133B1 마이크로기계식 공진기 公开/授权日：2017-01-09
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H9/00 | 包括机电或电声元件的网络，如谐振电路 |
| --------H03H9/02 | .零部件 |