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1. 发明授权

KR101694133B1 마이크로기계식 공진기 有权
标题翻译：微机电谐振器
公开(公告)号：KR101694133B1
公开(公告)日：2017-01-09
申请号：KR1020107018410
申请日：2009-01-23
申请人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
发明人： 카자카리빌
IPC分类号： H03H9/02 , B81B3/00 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2463 , H02N1/008 , H03H3/0076 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2478 , H03H9/2484 , H03H2009/02299
摘要： 본발명은마이크로기계식공진기의설계에관한것이며, 보다구체적으로는마이크로전자기계시스템(MEMS) 공진기의설계에관한것이다. 본발명은스프링요소들(3), (23-24), (27-30)의폭은상기전극핑거들(5-9), (25-26), (31-34)의폭보다크고, 상기폭들은구체적으로제작상치수변동에대한공진주파수변화의감도가제로에근접하도록치수화되는마이크로전자기계(MEMS) 공진기에대한개선된설계구조를제공한다. 개선된구조는제작상변동에대해주파수내성이있으며특히소형솔루션에서양호한성능과함께확실한주파수참조를가능하게한다.
摘要翻译：本发明涉及微机械谐振器的设计，更确切地说，涉及微机电系统（MEMS）谐振器的设计。本发明提供了一种用于微机电系统（MEMS）谐振器的改进的设计结构，其中弹簧元件（3），（23-24），（27-30）的宽度大于电极指（5- （25-26），（31-34），所述宽度具体尺寸设定成使谐振频率相对于尺寸制造变化d（＆Dgr;ω0/ω0）/dδ变化的灵敏度接近零。改进的结构对于制造变化是稳定的，并且具有良好性能的可靠的频率参考，特别是在小尺寸解决方案中。

2. 发明公开

KR1020100111724A 마이크로기계식 공진기 有权
标题翻译：微机电谐振器
公开(公告)号：KR1020100111724A
公开(公告)日：2010-10-15
申请号：KR1020107018410
申请日：2009-01-23
申请人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
发明人： 카자카리빌
IPC分类号： H03H9/02 , B81B3/00 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2463 , H02N1/008 , H03H3/0076 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2478 , H03H9/2484 , H03H2009/02299
摘要： 본 발명은 마이크로기계식 공진기의 설계에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 마이크로전자기계 시스템(MEMS) 공진기의 설계에 관한 것이다. 본 발명은 스프링 요소들(3), (23-24), (27-30)의 폭은 상기 전극 핑거들(5-9), (25-26), (31-34)의 폭보다 크고, 상기 폭들은 구체적으로 제작상 치수 변동에 대한 공진 주파수 변화의 감도가 제로에 근접하도록 치수화되는 마이크로전자기계(MEMS) 공진기에 대한 개선된 설계 구조를 제공한다. 개선된 구조는 제작상 변동에 대해 주파수 내성이 있으며 특히 소형 솔루션에서 양호한 성능과 함께 확실한 주파수 참조를 가능하게 한다.
摘要翻译：本发明涉及微机械谐振器的设计，更确切地说，涉及微机电系统（MEMS）谐振器的设计。本发明提供了一种用于微机电系统（MEMS）谐振器的改进的设计结构，其中弹簧元件（3），（23-24），（27-30）的宽度大于电极指（5- （25-26），（31-34），所述宽度具体尺寸设定成使谐振频率相对于尺寸制造变化d（＆Dgr;ω0/ω0）/dδ变化的灵敏度接近零。改进的结构对于制造变化是稳定的，并且具有良好性能的可靠的频率参考，特别是在小尺寸解决方案中。

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