基本信息:
- 专利标题: 주파수 차를 구비한 멀티래터럴 간섭계를 포함하는 파면 분석 방법
- 专利标题(英):Wavefront analysis method involving multilateral interferometry with frequency difference
- 专利标题(中):涉及具有频率差异的多尺度干涉的WAVEFRONT分析方法
- 申请号:KR1020087022589 申请日:2007-02-15
- 公开(公告)号:KR1020080097465A 公开(公告)日:2008-11-05
- 发明人: 프리모,제롬 , 벨쥐,사브리나 , 게르노,니꼴라 , 아이다,리아 , 토비,미쉘
- 申请人: 오네라 (오피스 내셔널 드뚜드데 에 드 르셰세 에어로스페시알르)
- 申请人地址: Chemin de la huniere, F-***** Palaiseau France
- 专利权人: 오네라 (오피스 내셔널 드뚜드데 에 드 르셰세 에어로스페시알르)
- 当前专利权人: 오네라 (오피스 내셔널 드뚜드데 에 드 르셰세 에어로스페시알르)
- 当前专利权人地址: Chemin de la huniere, F-***** Palaiseau France
- 代理人: 이광연
- 优先权: FR0601362 2006-02-16
- 国际申请: PCT/FR2007/050810 2007-02-15
- 国际公布: WO2007093748 2007-08-23
- 主分类号: G01J9/02
- IPC分类号: G01J9/02 ; G01B9/02
摘要:
The invention relates to a wavefront analysis method involving multilateral interferometry with frequency difference. According to the invention, a diffraction grating (GR) with two-dimensional meshing is placed on the path of the beam to be analysed and at least two interferograms with at least two different colours are processed, each interferogram being obtained in a plane (Ps) from two sub-beams (R1, R2) with different diffraction orders. The invention can be used to analyse and correct sheared wavefronts (S).
摘要(中):
本发明涉及涉及具有频差的多边干涉测量的波前分析方法。 根据本发明,将具有二维啮合的衍射光栅(GR)放置在要分析的光束的路径上,并且处理至少两个具有至少两种不同颜色的干涉图,每个干涉图在平面中获得(Ps )来自具有不同衍射级的两个子光束(R1,R2)。 本发明可用于分析和校正剪切波前(S)。
公开/授权文献:
- KR101066856B1 주파수 차를 구비한 멀티래터럴 간섭계를 포함하는 파면 분석 방법 公开/授权日:2011-09-26
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01J | 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法 |
------G01J9/00 | 测量光学相位差(控制光束相位的设备或装置入G02F1/01);测定相干性的程度;测量光学波长 |
--------G01J9/02 | .采用干涉法 |