基本信息:

• 专利标题： 사파이어 웨이퍼 세정제 조성물
• 专利标题（英）：Cleaning solution composition for sapphire wafer
• 申请号：KR1020130032783 申请日：2013-03-27
• 公开(公告)号：KR101956388B1 公开(公告)日：2019-03-08
• 发明人： 김정환 , 최철민 , 이경호
• 申请人： 동우 화인켐 주식회사
• 申请人地址： 전라북도 익산시 약촌로 *** (신흥동)
• 专利权人： 동우 화인켐 주식회사
• 当前专利权人： 동우 화인켐 주식회사
• 当前专利权人地址： 전라북도 익산시 약촌로 *** (신흥동)
• 代理人： 한양특허법인
• 主分类号： C11D11/00
• IPC分类号： C11D11/00 ; C11D3/37 ; C11D3/30 ; C11D3/00 ; C11D3/16 ; H01L33/00

公开/授权文献:

• KR1020140117888A  사파이어 웨이퍼 세정제 조성물 公开/授权日：2014-10-08

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