基本信息:

• 专利标题： 이온 주입된 샘플의 특성을 평가하는 방법
• 专利标题（英）：METHOD OF EVALUATING CHARACTERISTICS OF ION IMPLANTED SAMPLE
• 申请号：KR1020160134896 申请日：2016-10-18
• 公开(公告)号：KR101943714B1 公开(公告)日：2019-01-29
• 发明人： 추앙쿠오셍 , 초우유후아
• 申请人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
• 申请人地址： No. *, Li-Hsin Road *, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan
• 专利权人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
• 当前专利权人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
• 当前专利权人地址： No. *, Li-Hsin Road *, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan
• 代理人： 김태홍; 김진회
• 优先权： US62/256,964 2015-11-18; US15/158,531 2016-05-18
• 主分类号： H01L21/66
• IPC分类号： H01L21/66 ; H01L21/265 ; G03F7/24

公开/授权文献:

• KR1020170058265A  이온 주입된 샘플의 특성을 평가하는 방법 公开/授权日：2017-05-26

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