基本信息:
- 专利标题： 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법
- 专利标题（英）：Exposure apparatus and exposure method using the same
- 专利标题（中）：曝光装置和曝光方法使用相同
- 申请号：KR1020100069567 申请日：2010-07-19
- 公开(公告)号：KR101681143B1 公开(公告)日：2016-12-02
- 发明人： 김창훈 , 조국래 , 유홍석 , 안보경
- 申请人： 삼성디스플레이 주식회사
- 申请人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 专利权人： 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人： 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 代理人： 특허법인가산
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/027 ; G02B5/04
摘要：
노광장치및 이를이용한노광방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따른노광장치는, 광을조사하는광원부와, 노광영역과비노광영역을포함하는기판을지지하는기판스테이지부와, 상기광원부와상기기판스테이지사이에배치되고, 상기광이상기노광영역에조사되도록상기광을투과하거나, 상기광이상기비노광영역에조사되지않도록상기광을차단하는프리즘(prism)부를포함한다.
摘要（中）：
提供一种曝光装置和使用其的曝光方法。 曝光装置包括：配置为发光的光源单元; 支撑衬底的衬底台，所述衬底包括曝光区域和非曝光区域; 以及设置在所述光源单元和所述基板台之间的棱镜单元，所述棱镜单元可移动以将光透射到所述曝光区域并阻挡来自所述非曝光区域的光。
摘要（英）：
There is provided an exposure apparatus and an exposure method using the same. An exposure apparatus according to an embodiment of the present invention is disposed between the light source section for irradiating light, the exposed areas and the substrate stages for supporting the substrate including a non-exposed area, the light source and the substrate stage, the optical this includes transmitting the light to be irradiated on the exposure region, or a prism (prism) to the light off the light from being irradiated on the non-exposed area.
公开/授权文献:
- KR1020120009601A 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법 公开/授权日：2012-02-02