基本信息:
- 专利标题： 접착제 제거 시스템
- 专利标题（英）：Adhesive Removal System
- 专利标题（中）：粘合剂去除系统
- 申请号：KR1020150087283 申请日：2015-06-19
- 公开(公告)号：KR101678078B1 公开(公告)日：2016-11-21
- 发明人： 김영중 , 조대엽 , 박상영
- 申请人： 주식회사 이오테크닉스
- 申请人地址： 경기도 안양시 동안구 동편로 ** (관양동)
- 专利权人： 주식회사 이오테크닉스
- 当前专利权人： 주식회사 이오테크닉스
- 当前专利权人地址： 경기도 안양시 동안구 동편로 ** (관양동)
- 代理人： 리앤목특허법인
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/033 ; H01L21/02
摘要：
레이저빔을이용하여, 마스크의표면에있는접착제를제거할때 발생하는이물질을제거하기위한장치가개시된다. 개시된이물질흡입장치는, 레이저빔이통과하는빔 통과홀과, 상기빔 통과홀을중심으로공유하는복수의흡입영역을포함하며, 판형상을가진다.
摘要（英）：
By using a laser beam, an apparatus for removing foreign matters occurring when removing the adhesive from the surface of the mask it is disclosed.
Foreign matter disclosed inhalation device, which beam passes through the laser beam passage holes and comprises a plurality of suction region sharing Focusing the beam through holes, and has a plate shape.