基本信息:
- 专利标题： 금속산화박막 패턴형성용 코팅제 및 나노임프린트를 이용한 금속산화박막 패턴형성방법
- 专利标题（英）：Coating material for metal oxide thin film patterning and metal oxide thin film patterning method using nanoimprint
- 专利标题（中）：金属氧化物薄膜图案涂料和金属氧化物薄膜图案使用纳米薄膜的方法
- 申请号：KR1020130056696 申请日：2013-05-20
- 公开(公告)号：KR101486888B1 公开(公告)日：2015-01-27
- 发明人： 최대근 , 정준호 , 최준혁 , 이지혜 , 이응숙 , 정주연
- 申请人： 한국기계연구원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
- 专利权人： 한국기계연구원
- 当前专利权人： 한국기계연구원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
- 代理人： 조영현; 나승택
- 主分类号： C09D4/00
- IPC分类号： C09D4/00 ; C09D7/12 ; B29C59/02
摘要：
금속산화박막 패턴형성용 코팅제 및 나노임프린트를 이용한 금속산화박막 패턴형성방법에 관한 것으로서, 경화시간을 단축시키고 임프린트를 가능하게 하는 최적의 코팅제를 사용하는 것으로, 본 발명의 일 구현예에 따른 지르코닐 2-에틸헥사노에이트(Zirconyl 2-ethylhexanoate) 및 지르코늄 카복시 에틸 아크릴레이트 (Zirconium carboxyethyl acrylate)로 이루어진 산화지르코늄 전구체, 개시제, 및 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화박막 패턴형성용 코팅제 및 이를 이용한 나노 임프린트를 이용한 금속산화박막 패턴형성 방법이 제공된다.
摘要（英）：
Relates to a metal oxide thin film pattern forming method using a coating agent, and nano-imprint for the metal oxide thin film pattern formation, reduce the curing times and by using the optimum coating agent which enables the imprint, konil zirconates according to the embodiment of the present invention 2-ethylhexanoate (Zirconyl 2-ethylhexanoate), and zirconium-carboxy ethyl acrylate (zirconium carboxyethyl acrylate) as consisting of a zirconium oxide precursor, initiator, and a solvent containing a characterized in that the metal oxide thin film pattern formed for coating, and this using the metal oxide thin film pattern forming method using the nano-imprinting is provided.
公开/授权文献:
- KR1020140136320A 금속산화박막 패턴형성용 코팅제 및 나노임프린트를 이용한 금속산화박막 패턴형성방법 公开/授权日：2014-11-28