基本信息:
- 专利标题： 기판 지지 모듈
- 专利标题（英）：Substrate supporting module
- 专利标题（中）：基板支持模块
- 申请号：KR1020120128138 申请日：2012-11-13
- 公开(公告)号：KR101432152B1 公开(公告)日：2014-08-22
- 发明人： 김현중 , 이기웅 , 김성진 , 차은희
- 申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 에이피에스홀딩스 주식회사
- 申请人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 专利权人： 삼성디스플레이 주식회사,에이피에스홀딩스 주식회사
- 当前专利权人： 삼성디스플레이 주식회사,에이피에스홀딩스 주식회사
- 当前专利权人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 代理人： 남승희
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 기판의 로딩을 위해, 지지대가 상승 또는 하강하는 동작 중에, 기판에 의한 하중 또는 외력에 의해 지지대에 좌우 방향으로 힘 또는 충격이 가해지는 경우, 상기 지지대를 지지하고 있는 하부 회전 기구 및 지지 유닛이 고정되어 있지 않고, 유동적으로 움직일 수 있다. 따라서, 지지대에 전달되는 충격을 완화할 수 있어, 상기 지지대가 휘거나 손상되는 것을 방지할 수 있다.
The substrate support according to the invention the module is installed to pass through the stages, at least some of the stages in which the substrate is mounted in the vertical direction, by elevating a support for loading and unloading on the stage the substrate, from the inside of a stage It is installed so as to face with a support between, and in the interior of the lower rotating mechanism and a stage having a first and second lower rotary members that rotate while supporting the support located above the lower rotation device, with a support between is installed so as to face, the first an upper rotation mechanism having the first and second upper rotary members that rotate while supporting the stand.
Therefore, according to the embodiments of the invention, when for the loading of the substrate, the support is raised and the lowering operation that, by the load or external force due to the substrate being a force or a shock is applied in the horizontal direction to the support, the support the support and the lower rotation mechanism and the supporting unit is not fixed, which can be moved in flux. Therefore, it is possible to alleviate the impact transmitted to the support, it is possible to prevent the support to be bent or damaged.
公开/授权文献:
- KR1020140062593A 기판 지지 모듈 公开/授权日：2014-05-26