基本信息:
- 专利标题: 플라즈마 클리닝 장치의 클램프
- 专利标题(英):Clampof plasma cleaning device
- 专利标题(中):CLAMPOF等离子清洗装置
- 申请号:KR1020100123950 申请日:2010-12-07
- 公开(公告)号:KR101177223B1 公开(公告)日:2012-08-24
- 发明人: 김광호 , 김진성 , 박동주
- 申请人: 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사
- 申请人地址: 광주광역시 북구 앰코로 *** (대촌동)
- 专利权人: 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사
- 当前专利权人: 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사
- 当前专利权人地址: 광주광역시 북구 앰코로 *** (대촌동)
- 代理人: 서만규; 서경민
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/687 ; H01L21/3065
이를 위해 본 발명의 일 실시예는, 플라즈마 클리닝 챔버 내에 인쇄회로기판을 클램핑하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 있어서, 상기 인쇄회로기판의 하면에는 다수의 솔더 볼(solider ball)이 소정간격으로 부착되어 있고, 그 중앙 부위에 상기 인쇄회로기판이 안착되는 안착홈이 다수 형성되고, 그 양측 부위에 상기 안착홈에 이격되어 가이드 홈이 각각 형성되는 바닥판; 상기 가이드 홈 상에 수직으로 설치된 압축스프링; 및 상기 가이드 홈 상에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되고, 상기 인쇄회로기판의 양단을 클램핑하는 가압수단;을 포함하며, 상기 인쇄회로기판이 상기 가압수단에 슬라이딩된 상태에서 상기 가압수단의 상부를 가압하여 상기 인쇄회로기판의 양단을 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시킬 수 있는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프를 개시한다.
One embodiment of the invention relates to a clamp of the plasma cleaning device, a technical problem to be solved in the case of the printed circuit board the bag portion sealing the pressure means coupled to both ends of the printed circuit board so that the compression spring penetrates therein giving pressing simultaneously clamped with the use, it can maintain the printed circuit board in the horizontal, and further a solder ball and a lower portion of the space burning (burning), and damage to the solder ball to minimize the bottom surface of the printed circuit board there used to avoid the combination.
In one clamp of the plasma cleaning apparatus embodiment, clamping the printed circuit board in the plasma cleaning chamber of the invention To this end, the lower surface of the printed circuit board is attached to a plurality of solder balls (solider ball) at a predetermined interval, and , the printed circuit board this recess the bottom plate is formed a number, it is spaced apart in the seating groove on both sides of the guide groove portions are formed each of which is secured to the central portion; A compression spring installed vertically on the guide groove; And coupled to said compression spring through on the guide groove, the pressing means for clamping the both ends of the printed circuit board; includes, the printed circuit board is an upper portion of the pressing means in a sliding state to the pressing means by giving to the pressing by pressing the both ends of the printed circuit board, it discloses a clamp of the plasma-cleaning device that can maintain the printed circuit board horizontally.
公开/授权文献:
- KR1020120062985A 플라즈마 클리닝 장치의 클램프 公开/授权日:2012-06-15
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
--------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
------------H01L21/50 | ...应用H01L21/06至H01L21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的 |