반도체 웨이퍼, 반도체 회로, 시험용 기판, 및 시험 시스템

专利标题： 반도체 웨이퍼, 반도체 회로, 시험용 기판, 및 시험 시스템
专利标题（英）：Semiconductor wafer, semiconductor circuit, testing board and testing system
专利标题（中）：SEMICONDUCTOR WAFER，SEMICONDUCTOR CIRCUIT，TESTING BOARD AND TESTING SYSTEM
申请号：KR1020107026135 申请日：2008-06-02
公开(公告)号：KR101138200B1 公开(公告)日：2012-05-10
发明人： 와타나베,다이스케 , 오카야스,토시유키
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
申请人地址： *-**-*, ASAHI-CHO, NERIMA-KU, TOKYO ***, JAPAN
专利权人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
当前专利权人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
当前专利权人地址： *-**-*, ASAHI-CHO, NERIMA-KU, TOKYO ***, JAPAN
代理人： 특허법인씨엔에스
国际申请： PCT/JP2008/060172 2008-06-02
国际公布： WO2009147720 2009-12-10
主分类号： G01R31/28
IPC分类号： G01R31/28 ; H01L21/66

摘要：

반도체 웨이퍼에 형성된 복수의 반도체 회로를 시험하는 시험 시스템에 있어서, 반도체 웨이퍼와 신호를 주고 받는 것이 가능하게 설치되는 시험용 기판과, 시험용 기판을 제어하는 제어 장치를 포함하고, 반도체 웨이퍼에는, 외부의 측정 회로에 접속되는 외부 단자와, 반도체 웨이퍼에서의 복수의 측정점에 대응하여 설치되어, 각각 대응하는 측정점과 신호를 주고 받는 것이 가능하게 설치되는 복수의 선택 배선과, 복수의 선택 배선의 어느 하나를 선택하여, 선택한 선택 배선을 통하여, 대응하는 측정점과 외부 단자의 사이에 신호를 전송시키는 선택부가 형성되고, 시험용 기판은, 반도체 웨이퍼의 외부 단자에 접속되어, 선택부에 의해 선택된 선택 배선이 전송하는 신호의 특성을 측정하는 측정 회로와, 반도체 웨이퍼의 선택부에, 어느 선택 배선을 선택시킬지를 제어하는 제어부를 포함하는 시험 시스템을 제공한다.

摘要（英）：

In the test system for testing a plurality of semiconductor circuits formed on a semiconductor wafer, a test substrate that is to send and receive the semiconductor wafer and the signal installation and possibly, further comprising a control device for controlling a test substrate, a semiconductor wafer, the measurement of the external and an external terminal connected to a circuit, provided corresponding to the plurality of measurement points on the semiconductor wafer, a plurality of select interconnections each of which corresponds to send and receive the measurement point and signal installation enable and, selecting one of a plurality of select interconnections and, signal through the selected selection line, the corresponding additional selection for transmitting a signal between the measuring point and the external terminal is formed to, the test substrate is connected to an external terminal of the semiconductor wafer, the selected selection line is transmitted by the selection unit and the measuring circuit for measuring a property of, a selected portion of the semiconductor wafer, providing a test system comprising a control unit for controlling whether they select the any selected wiring.

KR1020110005286A 반도체 웨이퍼, 반도체 회로, 시험용 기판, 및 시험 시스템 公开/授权日：2011-01-17

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G	物理
--G01	测量；测试
----G01R	测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的
------G01R31/00	电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置
--------G01R31/28	.电路的测试，例如用信号故障寻测器

发明授权 KR101138200B1 반도체 웨이퍼, 반도체 회로, 시험용 기판, 및 시험 시스템 失效 - Ended

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