(식 중, A 및 B는 서로 독립적으로 수소 원자 또는 산의 존재하에 해리되어 산성 관능기를 발생시키는 탄소수 20 이하의 산 해리성 유기기를 나타내고, A 및 B 중 적어도 하나가 상기 산 해리성 유기기이고, X 및 Y는 서로 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기를 나타내 며, n은 0 또는 1이다.) (식 중, R 1 및 R 2 는 서로 독립적으로 탄소수 1 내지 5의 알킬기를 나타낸다.) (식 중, R 3 및 R 4 는 서로 독립적으로 탄소수 1 내지 5의 알킬기를 나타낸다.) 따라서, 본 발명에 의해, 방사선에 대한 투명성이 높고, 충분한 드라이 엣칭 내성을 가질 뿐만 아니라 해상도가 우수하고 패턴 형상, 감도 등을 포함하여 특성 균형이 우수한 감방사선성 수지 조성물이 제공된다. 감방사선성, 산 발생제, 화학 증폭형, 레지스트, 드라이 엣칭 내성">
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