基本信息:
- 专利标题: 감방사선성 수지 조성물
- 专利标题(英):Radiation Sensitive Resin Composition
- 专利标题(中):辐射敏感树脂组合物
- 申请号:KR1019990001130 申请日:1999-01-15
- 公开(公告)号:KR100557368B1 公开(公告)日:2006-03-10
- 发明人: 가지따,도루 , 스와,미쯔히또 , 이와사와,하루오 , 야마모또,마사후미
- 申请人: 제이에스알 가부시끼가이샤
- 申请人地址: *-*-*, Higashi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人: 제이에스알 가부시끼가이샤
- 当前专利权人: 제이에스알 가부시끼가이샤
- 当前专利权人地址: *-*-*, Higashi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 代理人: 장수길; 위혜숙
- 优先权: JP1998-18290 1998-01-16; JP1998-18291 1998-01-16; JP1998-270685 1998-09-25
- 主分类号: G03F7/039
- IPC分类号: G03F7/039 ; G03F7/00
(B) 감방사선성 산 발생제
를 함유하는 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물에 관한 것이다.
(식 중,
A 및 B는 서로 독립적으로 수소 원자 또는 산의 존재하에 해리되어 산성 관능기를 발생시키는 탄소수 20 이하의 산 해리성 유기기를 나타내고, A 및 B 중 적어도 하나가 상기 산 해리성 유기기이고,
X 및 Y는 서로 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기를 나타내 며,
n은 0 또는 1이다.)
(식 중, R
1 및 R
2 는 서로 독립적으로 탄소수 1 내지 5의 알킬기를 나타낸다.)
(식 중, R
3 및 R
4 는 서로 독립적으로 탄소수 1 내지 5의 알킬기를 나타낸다.)
따라서, 본 발명에 의해, 방사선에 대한 투명성이 높고, 충분한 드라이 엣칭 내성을 가질 뿐만 아니라 해상도가 우수하고 패턴 형상, 감도 등을 포함하여 특성 균형이 우수한 감방사선성 수지 조성물이 제공된다.
감방사선성, 산 발생제, 화학 증폭형, 레지스트, 드라이 엣칭 내성
The present invention (A) (a) to the repeating unit (II) represented by the general formula (1) repeat unit (I), or a repeating unit (I) and to the formula 1, Formula 2 represented by and (b) It has a carbon-carbon double bond of two or more, at the same time to be decomposed by the action of an acid formula (III) or a monomer having at least one divalent group of the formula (4), each carbon-polymerizable carbon-carbon double bonds is the divalent the carbon of the monomer having a structure linked via a group-copolymer containing a repeating unit (III) obtained carbon-carbon double bond is cleaved, and
(B) a radiation sensitive acid generator
It relates to a radiation-sensitive resin composition characterized in that it contains a.
公开/授权文献:
- KR1019990067934A 감방사선성 수지 조성물 公开/授权日:1999-08-25