基本信息:
- 专利标题： 炭素原子間の不飽和結合によるプラズマ硬化性化合物を含む段差基板被覆膜形成組成物
- 申请号：JP2018015268 申请日：2018-04-11
- 公开(公告)号：JPWO2018190380A1 公开(公告)日：2020-02-20
- 发明人： 遠藤 貴文 , ▲徳▼永 光 , 橋本 圭祐 , 坂本 力丸
- 申请人： 日産化学株式会社
- 申请人地址： 東京都中央区日本橋二丁目5番1号
- 专利权人： 日産化学株式会社
- 当前专利权人： 日産化学株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都中央区日本橋二丁目5番1号
- 代理人： 特許業務法人はなぶさ特許商標事務所
- 优先权： JP2017080826 2017-04-14
- 主分类号： G03F7/26
- IPC分类号： G03F7/26 ; H01L21/027 ; C08F20/30 ; C08F20/58 ; G03F7/11
摘要：
【課題】 パターンへの充填性と平坦化性を有する被膜を形成するプラズマ硬化性段差基板被覆膜形成組成物を提供する。 【解決手段】 下記式(1−1)乃至式(1−7)で表される部分構造(I): 【化1】 (式中、R 1 、R 1a 、R 3 、R 5a 、及びR 6a はそれぞれ独立して炭素原子数1〜10のアルキレン基、炭素原子数6〜40のアリーレン基(該アルキレン基及びアリーレン基は、1つ又は2つ以上のアミド基又はアミノ基で任意に置換されていても良い)、酸素原子、カルボニル基、イオウ原子、−C(O)−NR a −、−NR b −又はそれらの組み合わせからなる2価の基を表し、 R 5 は、それぞれ独立して、窒素原子、又は窒素原子と炭素原子数1〜10のアルキレン基、炭素原子数6〜40のアリーレン基(該アルキレン基及びアリーレン基は、1つ又は2つ以上のアミド基又はアミノ基で任意に置換されていても良い)、酸素原子、カルボニル基、イオウ原子、−C(O)−NR a −及び−NR b −からなる群から選択される少なくとも一つ以上の基との組み合わせからなる3価の基を表し、 R 2 、R 2a 、R 4 、及びR 6 は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基、又は水素原子と、炭素原子数1〜10のアルキレン基、酸素原子、カルボニル基、−C(O)−NR a −及び−NR b −からなる群から選択される少なくとも一つ以上の基との組み合わせからなる1価の基を表し、 R a は水素原子又は炭素原子数1〜10のアルキル基を表し、 R b は、水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基又は炭素原子数1〜10のアルキルカルボニル基を表し、 nは1〜10の繰り返し単位数を表し、及び 点線は隣接原子との化学結合を表す。)から選ばれる少なくとも一つの部分構造を含む化合物(E)と溶剤(F)とを含むプラズマ硬化性段差基板被覆膜形成組成物。 【選択図】 なし
公开/授权文献:
- JP2019131718A スラグ排出システムの停止方法、スラグ排出システムおよびガス化複合発電装置 公开/授权日：2019-08-08