基本信息:
- 专利标题： 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
- 申请号：JP2017025189 申请日：2017-07-10
- 公开(公告)号：JPWO2018012472A1 公开(公告)日：2019-05-16
- 发明人： 白谷 宗大 , 宮田 拡 , 成岡 岳彦
- 申请人： JSR株式会社
- 申请人地址： 東京都港区東新橋一丁目9番2号
- 专利权人： JSR株式会社
- 当前专利权人： JSR株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都港区東新橋一丁目9番2号
- 代理人： 天野 一規
- 优先权： JP2016137489 2016-07-12
- 主分类号： G03F7/038
- IPC分类号： G03F7/038 ; G03F7/20 ; C08F220/10 ; C08F212/08 ; G03F7/039
摘要：
本発明は、重合体と、感放射線性酸発生体と、溶媒とを含有し、上記重合体が、式(A)で表される第1酸解離性基、及びこの第1酸解離性基により保護されたオキソ酸基又は第1酸解離性基により保護されたフェノール性水酸基を含む第1構造単位と、第1酸解離性基以外の酸解離性基である第2酸解離性基、及びこの第2酸解離性基により保護されたオキソ酸基又は第2酸解離性基により保護されたフェノール性水酸基を含む第2構造単位とを有する感放射線性樹脂組成物である。式(A)中、R 1 は、単結合又はヒドロキシ基、アミノ基、シアノ基、ニトロ基若しくはフッ素原子による置換若しくは非置換の炭素数1〜20の2価の炭化水素基である。Xはカルボニル基、スルホニル基、スルホニルオキシ基、−O−、又は−S−である。R 2 及びR 3 は、置換又は非置換の炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。nは、1〜3の整数である。
公开/授权文献:
- JP2018130240A 洗濯機 公开/授权日：2018-08-23