基本信息:
- 专利标题： 搬送システム、搬送方法および搬送装置
- 申请号：JP2020555077 申请日：2020-02-05
- 公开(公告)号：JP6985531B1 公开(公告)日：2021-12-22
- 发明人： 小宮路 修 , 赤江 裕光 , 山口 剛 , 野口 忠隆
- 申请人： 株式会社安川電機
- 申请人地址： 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号
- 专利权人： 株式会社安川電機
- 当前专利权人： 株式会社安川電機
- 当前专利权人地址： 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号
- 代理人： 特許業務法人酒井国際特許事務所
- 国际申请： JP2020004431 JP 2020-02-05
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
摘要：
搬送システムは、減圧雰囲気にて基板に対する処理を行う複数の処理室が側壁に設けられ、減圧雰囲気にて基板を搬送する搬送室を備える。搬送室は、搬送室内に固定され、基板を搬送する複数のロボットと、移動式バッファとを備える。移動式バッファは、基板を保持し、側壁とロボットとの間を側壁に沿う水平向きに移動する。ロボットは、移動式バッファの移動と連携することによって移動式バッファと処理室との間で基板の受け渡しを行う。
摘要（英）：
A transfer system includes: a transfer chamber having a side wall provided thereon with a plurality of processing chambers in which a processing is performed on a substrate under a decompressed atmosphere, and configured such that the substrate is transferred in the decompressed atmosphere; a plurality of robots fixed in the transfer chamber and configured to transfer the substrate; and a movable buffer configured to hold the substrate and move in a horizontal direction along the side wall between the side wall and the robots in the transfer chamber. The robots exchange the substrate between the movable buffer and the processing chambers in cooperation with a movement of the movable buffer.