基本信息:
- 专利标题： GaN基板およびその製造方法
- 申请号：JP2017225119 申请日：2017-11-22
- 公开(公告)号：JP6697748B2 公开(公告)日：2020-05-27
- 发明人： 田代 功 , 片岡 秀直 , 横山 信之 , 大森 健志
- 申请人： パナソニックIPマネジメント株式会社
- 申请人地址： 大阪府大阪市中央区城見2丁目1番61号
- 专利权人： パナソニックIPマネジメント株式会社
- 当前专利权人： パナソニックIPマネジメント株式会社
- 当前专利权人地址： 大阪府大阪市中央区城見2丁目1番61号
- 代理人： 松谷 道子; 岡部 博史; 稲葉 和久
- 主分类号： C30B33/00
- IPC分类号： C30B33/00 ; B24B7/22 ; B24B37/30 ; B24B33/055 ; H01L21/304 ; C30B29/38
公开/授权文献:
- JP2019094230A ＧａＮ基板およびその製造方法 公开/授权日：2019-06-20