基本信息:
- 专利标题: RAMO4基板およびその製造方法
- 专利标题(英):JP6319598B2 - Ramo4 substrate and a method for manufacturing the same
- 申请号:JP2016218197 申请日:2016-11-08
- 公开(公告)号:JP6319598B2 公开(公告)日:2018-05-09
- 发明人: 鷹巣 良史 , 岡山 芳央 , 石橋 明彦 , 田代 功 , 上田 章雄 , 信岡 政樹 , 領木 直矢
- 申请人: パナソニックIPマネジメント株式会社
- 申请人地址: 大阪府大阪市中央区城見2丁目1番61号
- 专利权人: パナソニックIPマネジメント株式会社
- 当前专利权人: パナソニックIPマネジメント株式会社
- 当前专利权人地址: 大阪府大阪市中央区城見2丁目1番61号
- 代理人: 鷲田 公一
- 优先权: JP2016032349 2016-02-23
- 主分类号: C30B29/38
- IPC分类号: C30B29/38 ; C30B25/18 ; H01L21/205 ; B24B1/00 ; B24B37/00 ; B24B37/24 ; H01L21/304
公开/授权文献:
- JP2017152675A RAMO4基板およびその製造方法 公开/授权日:2017-08-31