基本信息:

• 专利标题： カソードの動作温度調整方法、及び描画装置
• 专利标题（英）：Operating temperature adjusting method of the cathode, and the drawing device
• 申请号：JP2013036257 申请日：2013-02-26
• 公开(公告)号：JP6166910B2 公开(公告)日：2017-07-19
• 发明人： 宮本 房雄
• 申请人： 株式会社ニューフレアテクノロジー
• 申请人地址： 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
• 专利权人： 株式会社ニューフレアテクノロジー
• 当前专利权人： 株式会社ニューフレアテクノロジー
• 当前专利权人地址： 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
• 代理人： 池上 徹真; 須藤 章; 松山 允之
• 主分类号： H01L21/027
• IPC分类号： H01L21/027 ; G03F7/20 ; H01J37/305 ; H01J37/06 ; H01J37/04

公开/授权文献:

• JP2014165075A  Operation temperature adjustment method of cathode and lithography device 公开/授权日：2014-09-08

信息查询: