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1. 发明专利

JP6420998B2 電子銃装置审中-公开
公开(公告)号：JP6420998B2
公开(公告)日：2018-11-07
申请号：JP2014179657
申请日：2014-09-03
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/248 , H01J37/305 , H01J37/065
CPC分类号： H01J29/025 , H01J3/027 , H01J3/38 , H01J29/02 , H01J29/485 , H01J29/92 , H01J29/96 , H01J37/065 , H01J2237/032 , H01J2237/038 , H01J2237/061 , H01J2237/31776

2. 发明专利

JP2017027917A 電子源のクリーニング方法及び電子ビーム描画装置审中-公开
标题翻译：的清洁方法和电子源的电子束描绘设备
公开(公告)号：JP2017027917A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：JP2015148735
申请日：2015-07-28
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H01J37/305 , H01J37/04 , H01J37/248 , H01J37/06
CPC分类号： H01J37/06 , H01J37/3174 , H01J2237/022
摘要：【課題】電子源に付着した不純物を効率良く除去し、電子ビーム放射特性の劣化及び描画装置の稼働率低下を防止する。【解決手段】本実施形態による電子源のクリーニング方法は、電子銃室60内に不活性ガスを供給する工程と、電子源64から電子を放出して前記不活性ガスをイオン化し、生成されたイオンのイオン衝撃により電子源64に付着した不純物を除去する工程と、電子銃14の電子ビーム放射特性の変化に基づいて前記不活性ガスの供給を停止する工程と、を備えるものである。【選択図】図2
摘要翻译：甲除去杂质有效地连接于电子源，防止恶化的利用不足和电子束发射特性的描绘装置。根据本实施例的电子源的清洗方法中，将惰性气体供给到电子枪室60，和电离惰性气体以从电子源64释放电子的步骤，将所生成的和除去由离子与电子源64，其中包括停止所述惰性气体的基础上的电子枪14的电子束发射特性的变化的供给的步骤的离子轰击附着的杂质。 .The

3. 发明专利

JP6439620B2 電子源のクリーニング方法及び電子ビーム描画装置有权
公开(公告)号：JP6439620B2
公开(公告)日：2018-12-19
申请号：JP2015148735
申请日：2015-07-28
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H01J37/305 , H01J37/04 , H01J37/248 , H01J37/06

4. 发明专利

JP6166910B2 カソードの動作温度調整方法、及び描画装置有权
公开(公告)号：JP6166910B2
公开(公告)日：2017-07-19
申请号：JP2013036257
申请日：2013-02-26
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/305 , H01J37/06 , H01J37/04
CPC分类号： H01J37/304 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/26 , H01J37/06 , H01J37/07 , H01J37/3174 , H01J2237/0653 , H01J2237/24585 , H01J2237/30461

5. 发明专利

JP6180945B2 電子線描画装置及び電子線描画方法有权
公开(公告)号：JP6180945B2
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：JP2014005700
申请日：2014-01-16
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： G03F7/20 , H01J37/305 , H01J37/06 , H01L21/027

6. 发明专利

JP2016054072A 電子銃用サポート部材および電子銃装置审中-公开
标题翻译：电子枪和电子枪设备支持会员
公开(公告)号：JP2016054072A
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：JP2014179657
申请日：2014-09-03
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/248 , H01J37/305 , H01J37/065
CPC分类号： H01J29/025 , H01J29/02 , H01J29/485 , H01J29/92 , H01J29/96 , H01J3/027 , H01J3/38 , H01J37/065 , H01J2237/032 , H01J2237/038 , H01J2237/061 , H01J2237/31776
摘要：【目的】高電圧電極のサポート部材での沿面放電を抑制することが可能な電子銃用サポート部材を提供することを目的とする。【構成】本発明の一態様の電子銃用サポート部材300は、一端がグランド電位の所定の部材に接続され、他端が、電子源から電子を放出させるための負の高電位が印加される高圧電極に接続されて高圧電極を支持する絶縁性支持部材である本体302と、絶縁性支持部材の外表面のうち、高圧電極と所定の部材とに接しない一部の領域に形成された金属膜306と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図2
摘要翻译：目的：提供一种能够抑制高压电极的支撑构件中的蠕变放电的电子枪的支撑构件。电子枪的支撑构件300包括主体302和金属膜306.主体是用于支撑高压电极的绝缘支撑构件，其中施加用于从电子源放电电子的负高电位，同时将一端连接到接地电位的预定构件并将另一端连接到高压电极。在绝缘支撑构件的外表面上，金属膜形成在与高压电极和预定构件不接触的部分区域中。图2

7. 发明专利

JP2015135847A 電子線描画装置及び電子線描画方法有权
标题翻译：电子束光刻设备和电子束光刻方法
公开(公告)号：JP2015135847A
公开(公告)日：2015-07-27
申请号：JP2014005700
申请日：2014-01-16
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：宮本房雄
IPC分类号： H01J37/305 , H01L21/027
摘要：【課題】異常放電の発生を予測して、描画エラーの発生を回避する。【解決手段】パターンの描画を行っているときに、碍子31に埋め込まれたセンサ電極32の電位を検出する。そして、センサ電極32の電位と閾値とを比較し、センサ電極32の電位が閾値よりも小さくなったときには、碍子31の下面で沿面放電が発生すると判断し、電子線のブランキングを実行する。そして、沿面放電が発生した後に、パターンの描画を再開する。これにより、異常放電によるパターンの描画エラーを回避して、エラーのないパターンを描画することが可能になる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：预测异常放电的发生以避免绘图错误。解决方案：当执行图案绘制时，检测嵌入绝缘体31中的传感器电极32的电位。然后，当将传感器电极32的电位与阈值进行比较，并且传感器电极32的电位小于阈值时，确定表面放电发生在绝缘体31下面以使电子束空白。然后，在发生表面放电之后，重新开始图案绘制。因此，可以避免由于异常放电引起的图案的拉丝误差，从而无误地绘制图案。

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