基本信息:
- 专利标题： リソグラフィシステム、変調装置およびファイバ固定基板を製造する方法
- 专利标题（英）：Method of making a lithography system, the modulation device and fiber fixing substrate
- 专利标题（中）：一种制造平版印刷系统，调制装置和纤维固定基板的方法
- 申请号：JP2013535423 申请日：2011-10-26
- 公开(公告)号：JP6092111B2 公开(公告)日：2017-03-08
- 发明人： ファン・メル、ラルフ , ファン・デ・ペート、テウニス , デルクス、ヘンク
- 申请人： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
- 申请人地址： オランダ国、2628 エックスケー・デルフト、コンピューターラーン 15
- 专利权人： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
- 当前专利权人： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
- 当前专利权人地址： オランダ国、2628 エックスケー・デルフト、コンピューターラーン 15
- 代理人： 蔵田 昌俊; 福原 淑弘; 中村 誠; 野河 信久; 白根 俊郎; 峰 隆司; 砂川 克
- 优先权： US61/479,263 2011-04-26 US61/477,228 2011-04-20 US61/406,675 2010-10-26
- 国际申请： EP2011068801 JP 2011-10-26
- 国际公布： WO2012055936 JP 2012-05-03
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01J37/305 ; G02B6/42 ; H01L21/027