基本信息:
- 专利标题： 太陽電池の欠陥検査装置及び欠陥検査方法
- 专利标题（英）：Defect inspection apparatus and defect inspection method of a solar cell
- 专利标题（中）：缺陷检查装置以及太阳能电池的缺陷检查方法
- 申请号：JP2013077179 申请日：2013-04-02
- 公开(公告)号：JP5635150B2 公开(公告)日：2014-12-03
- 发明人： 野 征 治 吉 , 野 征 治 吉
- 申请人： 株式会社エヌ・ピー・シー
- 专利权人： 株式会社エヌ・ピー・シー
- 当前专利权人： 株式会社エヌ・ピー・シー
- 优先权： JP2013077179 2013-04-02
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26 ; G01R31/02 ; H01L31/04
公开/授权文献:
- JP2014202538A 太陽電池の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 公开/授权日：2014-10-27
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R31/00 | 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置 |
| --------G01R31/26 | .单个半导体器件的测试 |