基本信息:
- 专利标题： Fluid supply device
- 申请号：JP2012549832 申请日：2011-12-20
- 公开(公告)号：JP5522270B2 公开(公告)日：2014-06-18
- 发明人： 篤彦 平田 , 岳 神谷 , 宏之 横井
- 申请人： 株式会社村田製作所
- 专利权人： 株式会社村田製作所
- 当前专利权人： 株式会社村田製作所
- 优先权： JP2010287260 2010-12-24
- 主分类号： G05D7/01
- IPC分类号： G05D7/01 ; F16K7/17 ; F16K17/28 ; F16K31/126
公开/授权文献:
- JPWO2012086646A1 流体供給装置 公开/授权日：2014-05-22