发明专利
JP5405453B2 Method and apparatus for determining the position of the inspection data in the design data area
有权
基本信息:
- 专利标题： Method and apparatus for determining the position of the inspection data in the design data area
- 专利标题（中）：空值
- 申请号：JP2010511421 申请日：2008-06-09
- 公开(公告)号：JP5405453B2 公开(公告)日：2014-02-05
- 发明人： クルカーニ・アショック , ダフィー・ブライアン , マーヤー・カイス , ラウス・ゴードン , シフリン・ユージン
- 申请人： ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation
- 专利权人： ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation
- 当前专利权人： ケーエルエー−テンカー・コーポレーションＫｌａ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ
- 优先权： US75960707 2007-06-07
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/66 | .在制造或处理过程中的测试或测量 |