基本信息:
- 专利标题： A charged particle beam apparatus
- 申请号：JP2011012435 申请日：2011-01-25
- 公开(公告)号：JP5364112B2 公开(公告)日：2013-12-11
- 发明人： 真一 富田 , 航 小竹 , 祐博 伊東
- 申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 当前专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 优先权： JP2011012435 2011-01-25
- 主分类号： H01J37/147
- IPC分类号： H01J37/147 ; H01J37/04 ; H01J37/28
公开/授权文献:
- JP2012155911A Charged particle beam device 公开/授权日：2012-08-16
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/147 | ...沿所需路径导引或偏转电子流的装置 |