基本信息:

• 专利标题： Acid generator for producing a sulfonium compound chemically amplified resist composition
• 申请号：JP2006316703 申请日：2006-11-24
• 公开(公告)号：JP5103878B2 公开(公告)日：2012-12-19
• 发明人： 宏 坂本 , 由香子 原田
• 申请人： 住友化学株式会社
• 专利权人： 住友化学株式会社
• 当前专利权人： 住友化学株式会社
• 优先权： JP2006316703 2006-11-24
• 主分类号： C07C381/12
• IPC分类号： C07C381/12 ; C07C309/18 ; G03F7/004

公开/授权文献:

• JP2008127367A  Sulfonium compound for producing acid generator of chemical amplification type resist composition 公开/授权日：2008-06-05

信息查询: