基本信息:
- 专利标题： Sheet sticking apparatus and a sticking method
- 申请号：JP2007110089 申请日：2007-04-19
- 公开(公告)号：JP4878329B2 公开(公告)日：2012-02-15
- 发明人： 幹 中田 , 弘一 山口
- 申请人： リンテック株式会社
- 专利权人： リンテック株式会社
- 当前专利权人： リンテック株式会社
- 优先权： JP2007110089 2007-04-19
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
公开/授权文献:
- JP2008270448A Sheet sticking apparatus and sticking method 公开/授权日：2008-11-06