基本信息:
- 专利标题: Method of manufacturing a hard carbon film-coated member
- 申请号:JP2001188637 申请日:2001-06-21
- 公开(公告)号:JP4779090B2 公开(公告)日:2011-09-21
- 发明人: 義紀 古賀 , 信樹 山下 , 和弘 山本 , 俊哉 渡辺 , 章浩 田中
- 申请人: 独立行政法人産業技術総合研究所
- 专利权人: 独立行政法人産業技術総合研究所
- 当前专利权人: 独立行政法人産業技術総合研究所
- 优先权: JP2001188637 2001-06-21
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C16/27 ; C23C14/48 ; C23C16/26 ; C23C16/517