基本信息:
- 专利标题： Scanning probe microscope
- 申请号：JP2006225729 申请日：2006-08-22
- 公开(公告)号：JP4714651B2 公开(公告)日：2011-06-29
- 发明人： 紀雄 大久保
- 申请人： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
- 专利权人： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
- 当前专利权人： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
- 优先权： JP2006225729 2006-08-22
- 主分类号： G01Q10/06
- IPC分类号： G01Q10/06 ; G01Q30/04 ; G01Q30/06 ; G01Q60/00 ; G01Q60/32 ; G01Q90/00
公开/授权文献:
- JP2008051554A Scanning probe microscope 公开/授权日：2008-03-06