基本信息:
- 专利标题： 収納モジュール、基板処理システムおよび消耗部材の搬送方法
- 专利标题（英）：STORAGE MODULE, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND METHOD FOR CONVEYING CONSUMABLE MEMBER
- 申请号：JP2020106519 申请日：2020-06-19
- 公开(公告)号：JP2022002255A 公开(公告)日：2022-01-06
- 发明人： 網倉 紀彦 , 北 正知
- 申请人： 東京エレクトロン株式会社
- 申请人地址： 東京都港区赤坂五丁目3番1号
- 专利权人： 東京エレクトロン株式会社
- 当前专利权人： 東京エレクトロン株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都港区赤坂五丁目3番1号
- 代理人： 特許業務法人酒井国際特許事務所
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/68
摘要：
【課題】フットプリントを低減することができる収納モジュール、基板処理システムおよび消耗部材の搬送方法を提供する。 【解決手段】収納モジュールは、載置台と、センサと、回転部と、収納部と、昇降部とを有する。載置台は、消耗部材を載置する。センサは、消耗部材の向きを検出する。回転部は、センサによって検出された消耗部材の向きに基づいて、消耗部材を所定の向きに回転させる。収納部は、載置台の下部に位置し、消耗部材を収納する。昇降部は、収納部を昇降させる。 【選択図】図2
摘要（英）：
To provide a storage module, a substrate processing system, and a method for conveying a consumable member that can reduce a footprint.SOLUTION: A storage module has a placement table, a sensor, a rotating unit, a storage unit, and a raising and lowering unit. A consumable member is placed on the placement table. The sensor detects the direction of the consumable member. The rotating unit rotates the consumable member in a predetermined direction based on the direction of the consumable member detected by the sensor. The storage unit is located below the placement table and stores the consumable member. The raising and lowering unit raises and lowers the storage unit.SELECTED DRAWING: Figure 2