基本信息:
- 专利标题: サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ
- 专利标题(英):Metal nitride material for thermistor, manufacturing method for the same and film type thermistor sensor
- 专利标题(中):用于热敏电阻的金属氮化物材料及其制造方法和薄膜型热敏电阻传感器
- 申请号:JP2015007970 申请日:2015-01-19
- 公开(公告)号:JP2016134491A 公开(公告)日:2016-07-25
- 发明人: 藤田 利晃 , 田中 寛 , 長友 憲昭
- 申请人: 三菱マテリアル株式会社
- 申请人地址: 東京都千代田区大手町一丁目3番2号
- 专利权人: 三菱マテリアル株式会社
- 当前专利权人: 三菱マテリアル株式会社
- 当前专利权人地址: 東京都千代田区大手町一丁目3番2号
- 代理人: 杉浦 秀幸
- 主分类号: H01C17/12
- IPC分类号: H01C17/12 ; H01C7/04
摘要:
【課題】 フィルム等に非焼成で直接成膜することができ、高い耐熱性を有して信頼性が高いサーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサを提供すること。 【解決手段】 サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、一般式:(M 1−v Y v ) x Al y (N 1−u O u ) z (但し、MはTi,V,Cr,Mn,Fe及びCoの少なくとも1種を示す。0.0
【選択図】図1
摘要(中):
【選択図】図1
要解决的问题:为了提供可直接形成在不燃烧的膜等上并具有高耐热性和高可靠性的热敏电阻的金属氮化物材料,其制造方法和薄膜型热敏电阻传感器 用于热敏电阻的金属氮化物材料由以下通式表示:(MY)Al(NO)(这里,M表示选自Ti,V,Cr,Mn,Fe中的至少一种元素,Fe Co,0.0
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01C | 电阻器 |
------H01C17/00 | 制造电阻器的专用设备或方法 |
--------H01C17/06 | .适用于在基片上涂敷电阻材料的 |
----------H01C17/075 | ..用薄膜工艺的 |
------------H01C17/12 | ...用溅射法 |