基本信息:
- 专利标题： 試料観察方法及び装置
- 专利标题（英）：Sample observation method and sample observation device
- 专利标题（中）：样本观察方法和样本观察装置
- 申请号：JP2015187508 申请日：2015-09-24
- 公开(公告)号：JP2016028248A 公开(公告)日：2016-02-25
- 发明人： 畠山 雅規 , 村上 武司 , 内藤 儀彦 , 寺尾 健二 , 木村 憲雄 , 渡辺 賢治
- 申请人： 株式会社荏原製作所
- 申请人地址： 東京都大田区羽田旭町11番1号
- 专利权人： 株式会社荏原製作所
- 当前专利权人： 株式会社荏原製作所
- 当前专利权人地址： 東京都大田区羽田旭町11番1号
- 代理人： 大野 聖二; 小林 英了; 森田 耕司; 加藤 真司; 鈴木 守; 津田 理; 松野 知紘; 酒谷 誠一
- 优先权： JP2008103832 2008-04-11 JP2008173994 2008-07-02 JP2009031032 2009-02-13 JP2009044397 2009-02-26 JP2009059206 2009-03-12
- 主分类号： G01N23/203
- IPC分类号： G01N23/203 ; G01N23/22 ; H01J37/295 ; H01J37/09 ; H01J37/244 ; G01N23/225
摘要：
【課題】電子ビームを用いて試料を観察する試料観察装置を提供する。 【解決手段】試料20に1次電子ビームを照射する1次光学系と、1次電子ビームの照射によって生じ試料20の情報を得た2次電子ビームを検出する検出器70と、2次電子ビームを検出器70に結像させる2次光学系と、検出器70にて検出された2次電子ビームから試料20の画像を生成する画像生成手段とを含む。2次光学系は、調整可能なNAアパーチャ62を含む。 【選択図】図23
摘要（中）：
要解决的问题：提供一种通过使用电子束观察样品的样本观察装置。解决方案：样本观察装置包括：用于用一次电子束照射样本20的一次光学系统; 检测器70，用于检测通过一次电子束的照射产生并且具有样品20的信息的二次电子束; 用于将二次电子束聚焦在检测器70上的二次光学系统; 以及用于从由检测器70检测到的二次电子束产生样品20的图像的图像产生装置。次级光学系统包括可调节的NA孔径62。选择的图示：图23
公开/授权文献:
- JP6091573B2 試料観察方法及び装置 公开/授权日：2017-03-08
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N23/00 | 利用未包括在G01N21/00或G01N22/00组内的波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、中子 |
| --------G01N23/02 | .通过使辐射透过材料 |
| ----------G01N23/203 | ..通过测量背散射 |