基本信息:
- 专利标题： 塗布装置および封止部の洗浄方法
- 专利标题（英）：Coating applicator and washing method for encapsulation part
- 专利标题（中）：涂料施工人员和包装部分的洗涤方法
- 申请号：JP2013113141 申请日：2013-05-29
- 公开(公告)号：JP2014231043A 公开(公告)日：2014-12-11
- 发明人： MAKI TETSUYA
- 申请人： 東京エレクトロン株式会社 , Tokyo Electron Ltd
- 专利权人： 東京エレクトロン株式会社,Tokyo Electron Ltd
- 当前专利权人： 東京エレクトロン株式会社,Tokyo Electron Ltd
- 优先权： JP2013113141 2013-05-29
- 主分类号： B05C11/10
- IPC分类号： B05C11/10 ; B05C5/00 ; B08B9/02
摘要：
【課題】スリットノズルの吐出口を封止する封止部に付着した塗布液を適切に除去すること。【解決手段】スリットノズル30と、移動機構と、封止部73と、回転機構と、掻取部74とを備え、スリットノズルは、スリット状の吐出口6が下方に形成され、かかる吐出口から塗布液を吐出する。移動機構は、スリットノズルを基板に対して相対的に移動させる。封止部は、吐出口の長手方向に沿って延在し、吐出口が上方から当接されることによって吐出口を封止する。回転機構は、封止部を回転させることによって封止部における吐出口との当接部を下方に移動させる。掻取部は、移動後の当接部に当接して当接部に付着した塗布液を掻きとる。【選択図】図3
摘要（中）：
要解决的问题：提供一种涂布器，用于适当地去除粘附到密封部分上的涂布液，以密封狭缝喷嘴的排出口。解决方案：涂布器包括：狭缝喷嘴30; 移动机制; 密封部73; 旋转机构; 和刮削部74.狭缝喷嘴具有向下形成的狭缝排出口6，从其排出涂布液。 移动机构使狭缝喷嘴相对于基板移动。 密封部沿着排出口的长度方向延伸，并且当排出口从上方抵接时，密封部被密封。 旋转机构使密封部旋转，从而使抵接部向下抵靠密封部的排出口。 刮板在移动后与抵接部抵接，刮去粘贴在基台部上的涂布液。
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B05 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法 |
| ----B05C | 一般对表面涂布液体或其他流体的装置 |
| ------B05C11/00 | 在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件 |
| --------B05C11/10 | .液体或其他流体的存贮、供给或控制，过量液体或其他流体的回收 |