基本信息:
- 专利标题： Method for manufacturing magnetic recording medium
- 专利标题（中）：制造磁记录介质的方法
- 申请号：JP2010149612 申请日：2010-06-30
- 公开(公告)号：JP2012014779A 公开(公告)日：2012-01-19
- 发明人： KIKUCHI MAKOTO , YAMAGUCHI NOBORU , NISHIBASHI TSUTOMU , SAKATA GENJI
- 申请人： Ulvac Japan Ltd , 株式会社アルバック
- 专利权人： Ulvac Japan Ltd,株式会社アルバック
- 当前专利权人： Ulvac Japan Ltd,株式会社アルバック
- 优先权： JP2010149612 2010-06-30
- 主分类号： G11B5/84
- IPC分类号： G11B5/84 ; C23C14/48 ; C23C14/58 ; C23C16/27 ; G11B5/65 ; G11B5/851 ; H01F41/32
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a magnetic recording medium with which the shortening of processing time can be achieved without deteriorating the removal efficiency of a pattern mask.SOLUTION: In a method for manufacturing a magnetic recording medium according to one embodiment of the prevent invention, the temperature of a substrate 11 is increased to the temperature region of removal reaction of a resist pattern 13 during a step of ion injection for magnetically separating a magnetic layer 12. After ion injection, the temperature of the substrate is utilized, performing the ashing processing of the resist pattern 13. As a result, the time of processing for removing a resist pattern can be shortened without deteriorating the removal efficiency of a resist pattern.
摘要（中）：
解决的问题：提供一种可以在不降低图案掩模的去除效率的情况下实现缩短处理时间的磁记录介质的制造方法。 解决方案：在根据本发明的一个实施方案的制造磁记录介质的方法中，基板11的温度在离子注入步骤期间增加到抗蚀剂图案13的去除反应的温度区域 磁分离磁性层12.离子注入后，利用基板的温度，进行抗蚀剂图案13的灰化处理。结果，可以缩短去除抗蚀剂图案的时间，而不会降低除去效率 的抗蚀剂图案。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G11 | 信息存储 |
| ----G11B | 基于记录载体和换能器之间的相对运动而实现的信息存储 |
| ------G11B5/00 | 借助于记录载体的激磁或退磁进行记录的；用磁性方法进行重现的；为此所用的记录载体 |
| --------G11B5/84 | .专用于制造记录载体的方法或设备 |