发明专利
JP2010529683A Method and apparatus for determining the position of the inspection data in the design data area
有权
基本信息:
- 专利标题: Method and apparatus for determining the position of the inspection data in the design data area
- 专利标题(中):空值
- 申请号:JP2010511421 申请日:2008-06-09
- 公开(公告)号:JP2010529683A 公开(公告)日:2010-08-26
- 发明人: クルカーニ・アショック , シフリン・ユージン , ダフィー・ブライアン , マーヤー・カイス , ラウス・ゴードン
- 申请人: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation
- 专利权人: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation
- 当前专利权人: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation
- 优先权: US75960707 2007-06-07
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66 ; G06F17/50 ; H01L21/82
【解決手段】一つのコンピューター実施の方法はウエハーの画像化により得られる位置合わせ標的の画像を用いてウエハー上に形成される位置合わせ標的の図心を決める工程を含む。 その方法はまたその図心をその位置合わせ標的を表わす幾何学的形状の図心と位置合わせすることを含む。 さらに、その方法は位置合わせ標的の図心の設計データ領域での位置を設計データ領域での幾何学的形状の図心の位置として割り当てる工程を含む。 その方法はさらに位置合わせ標的の図心の設計データ領域での位置に基づいて設計データ領域でのウエハーについて得られる設計データの位置を決める工程を含む。
【選択図】図1
An object of the present invention is to provide a device with a variety of methods for determining the position in the inspection data in the design data area.
A method of one computer implementation includes the step of determining a centroid of the alignment target formed on a wafer using the image of the alignment target which is obtained by the imaging of the wafer. The method also includes aligning the centroid geometry representing the alignment targets its centroid. Further, the method includes the step of assigning the position of the design data area centroid of the registration target as the centroid position of the geometry of the design data area. The method comprising the step of positioning the design data obtained for the wafers in the design data area further based on the position in the design data area of the centroid of the registration target.
.FIELD 1
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
--------H01L21/66 | .在制造或处理过程中的测试或测量 |