基本信息:

• 专利标题： VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES BANDFÖRMIGEN SUBSTRATES MIT EINER PARYLENE-SCHICHT
• 申请号：EP22813089.4 申请日：2022-10-14
• 公开(公告)号：EP4448825A1 公开(公告)日：2024-10-23
• 发明人： TÖRKER, Emmy , SELBMANN, Franz , TOP, Michiel
• 申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
• 申请人地址： DE 80686 München Hansastraße 27c
• 专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
• 当前专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
• 当前专利权人地址： DE 80686 München Hansastraße 27c
• 优先权： DE 2021133627 2021.12.17
• 国际申请： EP2022078632 2022.10.14
• 国际公布： WO2023110188 2023.06.22
• 主分类号： C23C14/12
• IPC分类号： C23C14/12 ; C23C14/56 ; C23C14/54 ; C23C16/44 ; C23C16/54 ; C23C16/452 ; C23C16/455 ; B05D1/00

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