![SENSOR ELEMENTS ON THIN FOILS/FILMS](/ep/2024/07/31/EP3642582B1/abs.jpg.150x150.jpg)
基本信息:
- 专利标题: SENSOR ELEMENTS ON THIN FOILS/FILMS
- 申请号:EP18820350.9 申请日:2018-06-21
- 公开(公告)号:EP3642582B1 公开(公告)日:2024-07-31
- 专利权人: Ezmems Ltd.
- 当前专利权人: EZMEMS LTD.
- 当前专利权人地址: EZMEMS LTD.
- 代理机构: Kramer, Dani
- 优先权: US 1762523315P 2017.06.22
- 国际申请: IL2018050690 2018.06.21
- 国际公布: WO2018235087 2018.12.27
- 主分类号: G01L1/22
- IPC分类号: G01L1/22 ; G01L1/18 ; G01L7/02 ; G01L9/06 ; H01C17/06 ; H01C17/24 ; H01L21/768 ; H01C10/10 ; G01L9/00 ; H01L23/498