基本信息:
- 专利标题： GUN LENS DESIGN IN A CHARGED PARTICLE MICROSCOPE
- 申请号：EP18170249.9 申请日：2018-05-01
- 公开(公告)号：EP3399537B1 公开(公告)日：2019-10-16
- 发明人： Mohammadi-Gheidari, Ali , Henstra, Alexander , Tiemeijer, Peter Christiaan , Liu, Kun , Dona, Pleun , Schwind, Gregory A. , Van de Water, Gerbert Jeroen , Bischoff, Maarten
- 申请人： FEI Company
- 申请人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 US
- 专利权人： FEI Company
- 当前专利权人： FEI Company
- 当前专利权人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 US
- 代理机构： Janssen, Francis-Paul
- 优先权： US201715586194 20170503
- 主分类号： H01J37/065
- IPC分类号： H01J37/065 ; H01J37/067 ; H01J37/145 ; H01J37/28
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/06 | ...电子源；电子枪 |
| --------------H01J37/065 | ....枪或其部件的构造 |