EP3309815B1 PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG MIT ZWEI, MITEINANDER GEKOPPELTEN MIKROWELLENPLASMAQUELLEN SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER SOLCHEN PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG
失效 - 权利终止
转让
基本信息:
- 专利标题： PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG MIT ZWEI, MITEINANDER GEKOPPELTEN MIKROWELLENPLASMAQUELLEN SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER SOLCHEN PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG
- 专利标题（英）：PLASMA TREATMENT DEVICE WITH TWO MICROWAVE PLASMA SOURCES COUPLED TOGETHER AND METHOD FOR OPERATING SUCH A PLASMA TREATMENT DEVICE
- 申请号：EP16193511.9 申请日：2016-10-12
- 公开(公告)号：EP3309815B1 公开(公告)日：2019-03-20
- 发明人： Mai, Joachim
- 申请人： Meyer Burger (Germany) AG
- 申请人地址： An der Baumschule 6-8 09337 Hohenstein-Ernstthal DE
- 专利权人： Meyer Burger (Germany) AG
- 当前专利权人： MEYER BURGER (GERMANY) GMBH, DE
- 当前专利权人地址： MEYER BURGER (GERMANY) GMBH, DE
- 代理机构： Kailuweit & Uhlemann Patentanwälte Partnerschaft mbB
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H05H1/46