基本信息:

• 专利标题： Multi-beam deflector array means with bonded electrodes
• 专利标题（中）：多波束Ablenkarray与相关联的电极
• 申请号：EP10450070.7 申请日：2010-05-03
• 公开(公告)号：EP2251893B1 公开(公告)日：2014-10-29
• 发明人： Platzgummer, Elmar
• 申请人： IMS Nanofabrication AG
• 申请人地址： Schreygasse 3 1020 Vienna AT
• 专利权人： IMS Nanofabrication AG
• 当前专利权人： IMS NANOFABRICATION GMBH, AT
• 当前专利权人地址： IMS NANOFABRICATION GMBH, AT
• 代理机构： Forsthuber, Martin
• 优先权： EP09006523 20090514
• 主分类号： H01J37/317
• IPC分类号： H01J37/317 ; H01J37/04

公开/授权文献:

• EP2251893A3  Multi-beam deflector array means with bonded electrodes 公开/授权日：2012-06-06

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