基本信息:
- 专利标题： 振动阻尼装置及具有其的光刻设备
- 申请号：CN202320888641.X 申请日：2023-04-19
- 公开(公告)号：CN219975236U 公开(公告)日：2023-11-07
- 发明人： 付大为 , 曹凯 , 汤成祥
- 申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 专利权人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 代理机构： 北京荟英捷创知识产权代理事务所
- 代理人： 李梦宁
- 主分类号： F16F15/067
- IPC分类号： F16F15/067 ; G03F7/20 ; F16F15/023 ; F16F15/02
摘要：
本实用新型提供了一种振动阻尼装置及具有其的光刻设备，涉及光刻设备技术领域，为解决现有光刻设备的振动阻尼装置性能不理想的问题而设计。该振动阻尼装置包括基座和沿设定方向与基座间隔设置的安装座，基座朝向安装座的一面开设容纳腔，容纳腔设置粘性流体，安装座朝向基座的一面固定设置活塞，活塞伸入容纳腔，且沿与设定方向垂直的平面投影，活塞的轮廓小于容纳腔的轮廓；基座与安装座之间还设置有伸缩结构，伸缩结构具有沿设定方向的伸缩自由度，伸缩结构环绕并密封容纳腔。本实用新型利用粘性流体的粘滞性对计量框架与光栅安装板之间的冲击振动进行缓冲，效果较好，解决了现有技术存在的光刻设备的振动阻尼装置性能不理想的技术问题。
IPC结构图谱:
| F | 机械工程；照明；加热；武器；爆破 |
| --F16 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 |
| ----F16F | 弹簧；减震器；减振装置 |
| ------F16F15/00 | 系统中振动的抑制（汽车座悬挂设备入B60N2/50）；避免或减少不平衡力的装置或配置，如由于运动产生的不平衡力 |
| --------F16F15/02 | .非旋转系统振动的抑制，如往复系统；通过利用不与旋转系统一起运动的元件抑制旋转系统的振动 |
| ----------F16F15/04 | ..使用弹性装置 |
| ------------F16F15/06 | ...带金属弹簧 |
| --------------F16F15/067 | ....仅使用盘簧 |