基本信息:
- 专利标题： 用于传送提升组件的方法和装置
- 专利标题（英）：Methods and apparatus for a band to band transfer module
- 申请号：CN200610127253.0 申请日：2006-09-14
- 公开(公告)号：CN1937199A 公开(公告)日：2007-03-28
- 发明人： 罗伯特·B·劳伦斯 , 埃里克·A·英格哈特 , 迈克尔·R·赖斯 , 维纳·沙 , 苏杉特·克什提 , 杰弗里·C·哈德更斯
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 赵飞
- 优先权： 60/717,150 2005.09.14 US; 60/717,335 2005.09.14 US; 60/717,336 2005.09.14 US
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/00
摘要：
本发明提供了用于传送提升组件的系统、方法和装置，该传送提升组件包括机架、安装在机架上的至少一组轮、安装在机架上的提升组件、适于控制提升组件的控制器、和安装在机架上的电机磁体阵列。传送提升组件适于响应于外部磁场的施加而被驱动并对移动的传送装置装载和卸载衬底。
摘要（英）：
Systems, methods and apparatus are provided for a transport lift assembly that includes a chassis, at least one set of wheels mounted on the chassis, a lift assembly mounted on the chassis, a controller adapted to control the lift assembly, and a motor magnet array mounted on the chassis. The transport lift assembly is adapted to be driven in response to application of an external magnetic field and to load and unload substrate carriers from moving conveyors.
公开/授权文献:
- CN100481365C 用于传送提升组件的方法和装置 公开/授权日：2009-04-22