基本信息:
- 专利标题： 一种MEMS气体流量芯片
- 申请号：CN202510469992.0 申请日：2025-04-15
- 公开(公告)号：CN120313694A 公开(公告)日：2025-07-15
- 发明人： 刘智辉 , 赵晓锋 , 李子旭 , 李涛 , 刘兴宇 , 王永刚 , 陈婧 , 姜晓龙
- 申请人： 黑龙江大学 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 申请人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
- 专利权人： 黑龙江大学,中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 当前专利权人： 黑龙江大学,中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 当前专利权人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
- 代理机构： 哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司
- 代理人： 张利明
- 主分类号： G01F1/688
- IPC分类号： G01F1/688 ; G01F1/684 ; B81B7/02
摘要：
本申请属于流量传感器技术领域，具体涉及一种MEMS气体流量芯片；该芯片包括开关单元和流量单元，开关单元包括第一热电堆测温器和第一直线加热器；流量单元包括第二直线加热器、第二热电堆测温器和第三热电堆测温器；设置于不同位置的第一热电堆测温器、第二热电堆测温器和第三热电堆测温器分别测量第一直线加热器和第二直线加热器加热后的气体温度，并分别获得第一气体温度、第二气体温度和第三气体温度；该芯片能够测量得到不同位置的气体温度为MEMS流量计的高精度气体流量计算提供数据；该芯片将开关单元和流量单元集成设置，体积小集成度高，易于封装。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01F | 容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量 |
| ------G01F1/00 | 测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量 |
| --------G01F1/68 | .应用热效应 |
| ----------G01F1/684 | ..结构配置；元件安装，例如与液流有关的 |
| ------------G01F1/688 | ...利用特殊类型的加热、冷却或传感元件 |