基本信息:
- 专利标题： 高吸收的非制冷光机热红外探测器及其制作方法
- 申请号：CN202510273167.3 申请日：2025-03-10
- 公开(公告)号：CN120101946A 公开(公告)日：2025-06-06
- 发明人： 蒋君贤 , 黄建 , 李睿智 , 郭培 , 刘昌举
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 申请人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 当前专利权人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 代理机构： 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 唐龙波
- 主分类号： G01J5/48
- IPC分类号： G01J5/48 ; B81B7/02 ; B81C3/00 ; B81C1/00
摘要：
本发明公开了一种高吸收的非制冷光机热红外探测器及其制作方法，光机热红外探测器包括硅片，所述硅片上形成有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽中设置有可动微镜，所述第二凹槽露出可动微镜的下表面；所述可动微镜包括吸收区结构和分别连接于吸收区结构两侧的两个微桥结构；所述吸收区结构的上表面设置有多个微纳超结构；所述第一凹槽的槽口处设置有玻璃半透镜，从而形成法布里‑泊罗腔；所述第二凹槽的槽口处设置有滤光片。本发明采用新型光机热探测结构，能够提高机械谐振模式感应速度，提升探测速率；通过微纳超结构还能提高吸收效率、扩展吸收光谱范围；另外，微纳超结构直接生长在光机热结构支撑层上，与光机热谐振感应层之间热学传递良好。