基本信息:
- 专利标题： 一种基于双棱镜干涉仪构型的动态干涉测量装置
- 申请号：CN202510221797.6 申请日：2025-02-27
- 公开(公告)号：CN120063107A 公开(公告)日：2025-05-30
- 发明人： 张文喜 , 焦琪璐 , 伍洲
- 申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
- 申请人地址： 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人： 中国科学院空天信息创新研究院
- 当前专利权人： 中国科学院空天信息创新研究院
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构： 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理人： 陈亮; 郑立明
- 主分类号： G01B9/02015
- IPC分类号： G01B9/02015 ; G01B11/24
摘要：
本发明公开了一种基于双棱镜干涉仪构型的动态干涉测量装置，窄线宽双频外差光源产生两路光束，其中一束光耦合进入第一单模保偏光纤作为参考光，经过第一分光棱镜反射到达成像镜；窄线宽双频外差光源产生的另一束光耦合进入第二单模保偏光纤作为测量光，经过第二分光棱镜反射到达标准镜；标准镜出射高质量球面波，该球面波到达待测镜，经过待测镜原路返回标准镜、第二分光棱镜、第一分光棱镜、成像镜，并经过成像镜准直后到达探测器；测量光与参考光在探测器产生干涉，通过干涉测量的方法标定各元件的面形。上述装置能够适配窄线宽光源、短相干光源等多种光源，能直接通过干涉法标定各个元件的面形，在绝对测量中具有很强的应用性。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |
| ----------G01B9/02015 | ..特征在于光束路径配置； |