
基本信息:
- 专利标题: 一种基于超表面的超高分辨率HTM波前探测模块及其标定方法和测试方法
- 申请号:CN202411399203.2 申请日:2024-10-09
- 公开(公告)号:CN118913641A 公开(公告)日:2024-11-08
- 发明人: 邓婷 , 彭琛 , 魏蔚 , 雷德川 , 柳国龙 , 李光祥 , 潘文武 , 刘斯靓 , 严伟
- 申请人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
- 申请人地址: 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 代理机构: 成都环泰专利代理事务所(特殊普通合伙)
- 代理人: 李斌
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02 ; G01J9/00
摘要:
本申请提供了是涉及一种基于超表面的超高分辨率HTM波前探测模块及其标定方法和测试方法。所述基于超表面的超高分辨率HTM波前探测模块,包括激光器、三维位移台、准直器、超表面结构和相机,所述激光器位于所述三维位移台上,且所述激光器的出光口位于所述准直器的焦平面上,所述激光器发出的球面波经所述准直器准直后引入不同斜率的平面波前,经超表面结构进行强度调制后由相机记录灰度信息。本申请通过超表面对光强分布的调制并进行灰度比例与斜率关系的标定,实现了高分辨率和超大动态范围的波前探测技术,其结构简单、功能稳定,在高精度、大动态范围的波前测量领域具有广泛的应用前景。
公开/授权文献:
- CN118913641B 一种基于超表面的超高分辨率HTM波前探测模块及其标定方法和测试方法 公开/授权日:2025-01-28
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01M | 机器或结构部件的静或动平衡的测试;未列入其他类目的结构部件或设备的测试 |
------G01M11/00 | 光学设备的测试;其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 |
--------G01M11/02 | .光学性质的测试 |